順應(yīng)晶圓技術(shù)發(fā)展潮流，實現(xiàn)超薄、大口徑晶圓加工

匯集現(xiàn)有研削機(jī)的精華
DFG8540/8560是在世界各地?fù)碛写罅坑脩舻腄FG800系列的升級換代機(jī)種。該機(jī)種既具備了與800系列同樣的技術(shù)指標(biāo)及性能，又在設(shè)備的重量方面取得了重大改進(jìn)。DFG8540的重量比原來減少了1.2 t（比DFG850降低28 %），DFG8560的重量比原來減少1.0 t（比DFG860降低20 %）。
可對100μm以下的超薄晶圓進(jìn)行精密研削
改善超薄晶圓研削及搬運(yùn)系統(tǒng)的功能參數(shù)設(shè)計，提高了超薄研削精加工的穩(wěn)定性。
具有對應(yīng)超薄研削精加工技術(shù)的系統(tǒng)擴(kuò)張功能
可以與DBG（Dicing Before Grinding＝先分割晶圓，后進(jìn)行研削）和干式拋光機(jī)（DFP8140／8160）等組成聯(lián)機(jī)系統(tǒng)。

統(tǒng)一研削加工點(diǎn)，提高加工可信度
通遇將第一主軸的研削加工點(diǎn)與第二主軸的研削加工點(diǎn)位置統(tǒng)--，不但提高了第二主軸的研削咖工穩(wěn)定性，而且減小了單片晶國內(nèi)的厚度誤差和晶圓之間的厚度誤差，還有助于提高超薄研削加工質(zhì)量的穩(wěn)定性.維持與現(xiàn)有DFG800系列間的兼容性及零部件互換性
DFG8540/8560維持與現(xiàn)有機(jī)種的互換性，可以使用與DFG800系列機(jī)相同的研削磨輪，磨輪修整板.工作臺。操作簡便
DFG8540/8560配置了觸摸式液晶期示器及圖形化用戶界面GUI（Graphical UserInterface），提高了操作使利性。而且設(shè)備的機(jī)械狀態(tài)和加工狀況可在控制畫面上同步顯示。操作人員只要觸摸控制畫面上的圖形化按鈕，就可以簡單地完成操作，不但加快了作業(yè)速度，還使設(shè)備操作和維修保善都變得非常容易。