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DISCO DFG860晶圓超薄研磨設(shè)備,3盤(pán)可旋轉(zhuǎn)設(shè)計(jì),精度高,穩(wěn)定性好,效率高。適用于12寸晶圓背部研磨減薄。
生產(chǎn)日期:2004年
額定功率:AC200V,50/60HZ,21KWV
壓縮空氣:0.5Mpa 350L/mi
研削水: 0.2Mpa 25L/min
l冷卻水: 0.2Mpa 9L/min
重量: 5000KG
設(shè)備名稱(chēng):
研磨機(jī) 減薄機(jī)
廠(chǎng)家:
DISCO
型號(hào):
DFG860
年份:
2004
設(shè)備狀態(tài):
Working